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电商束光刻(EBL):最窄线宽50nm,的精密度高达10%。
步进电机式光刻💙:stepper i7/i10/i12,很小线宽350nm,揭晓随机误差±0.1um。
接触的面积,相似式光刻:MA6/BA6光刻机,最短线宽1um,大曝光随机误差±0.5um。
红外光谱光刻、无掩膜光刻、俩面光刻、贴准套刻长宽比:8'6'4'2'与不規則小片