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键合制作工艺
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键合技艺广用途于微智能电子元件的制做的过程 中,如微腔元件,悬臂梁元件,捐躯层,特出形式的制做等。

阳极键合

共晶键合(AuSn,CuSn,AuSi等)

胶键合(AZ4620,SU8,键合专业化胶)

引线键合

几层键合

硅and硅键合

倒装键合

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