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🍷EVG 320不是款一键多晶硅圆清理设配，按照兆声清理在键合前对晶圆表面能做清理，从而提高键合質量。
🌞EVG 320有的是款重新单晶硅圆除垢的设备，用到兆声除垢在键合前对晶圆漆层做除垢，提高了键合水平。
·极限可适于于12寸（300mm）晶圆
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全智能的开机运行
·选择1MHz兆声冲洗头，管用洗去＞1μm的粒子
·总共行配置单4个拆洗腔室
·服务器人操作以保证预贴紧精确度
