离子束光刻系统 ionLiNE

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商品描述

ionLiNE完全的化合物束光刻机：高五金机械和安全稳定的100mm铁阳离子束干涉现象运转台，非影响性的导航地图和大体积图型化；专业枝术的NanoFIB-TWO化合物枪，识别率高，ཧ束斑是有优点和缺点（束拖尾有大有小），精密性的束偏转；饱经四大考验的吹捧操作app软件，可精密性操作化合物束。

护肤品简绍
Raith的ionLINE (TM)操作整体软件整体的是将对焦阳铁正亚铁亚铁离子束和光刻操作整体软件整体的很好的紧密联系的納米技木手工加工处理厂操作整体软件整体的。它紧密联系了有所差异的对焦阳铁正亚铁亚铁离子束技木，比较稳定高，全半自༒动的控制，分别率高，重复便用高。ionLINE 有Raith研发团队的NanoFIB-TWO納米技木手工加工处理厂阳铁正亚铁亚铁离子🌃枪，已经从Raith电子枝术束曝出图片机操作整体软件整体的里种植回来通过时间间隔锤炼的二氧化碳激光干扰的工作台图片和行业的曝出图片整体软件。阳铁正亚铁亚铁离子束曝出图片操作整体软件整体的用一些具体方法伎俩，以有所差异的工艺设计设计过程改进了納米技木手工加工处理厂工艺设计设计：阳铁正亚铁亚铁离子束曝出图片操作整体软件整体的已不随意性于因为光刻胶的曝出图片，更加地便用同时的图型化技木，如Milling、刻蚀或的堆积，已经同时掩模分为硬掩模，装入或系统化。
ionLiNE本身的铁阴化合物束光刻机：高精度加工和安稳的10💛0mm二氧化碳激光干预运转台，非损害性的导航仪和大占地面图型化；申请科技的NanoFIB-TWO铁阴化合物枪，分别率高，束斑十分的有性能（束拖尾很大），透彻的束偏转；经久磨练的拍摄调节PC软件，可透彻调节铁阴化合物束。
ionLiNE提升有效率的艺设备：用随时精磨或产品的样品功能性化来变少nm艺艺设备的环节；高效艺设备发展，用实时监控艺设备监测工艺和立体载片台线上诊断和优化方案艺设备；可实现了有挑战赛性的素材和一流的原来设计方案的艺设备；高安全性使完全功率器件的变频化一键艺艺设备𓆉拥有可能会；实用分类工艺设置成——机灵的工艺的方式。
FLEXposure图型化方法：给出了๊极其不宜的正离子束枝术和图型化对策；专业技术的设计的概念和的用药量掌握鼓励二维薄层图型化或3d纳米级代加工；不必光刻胶间接图型化的力量可常用做3d/不铺布样片或透明桌面样片上的各样应该用供给。
ionLiNE不仅可原则配备原则把控部件，如物料室、光纤激光切割机的侦测器、进行加工监测网和三维图载片台外，还可曾加额外的的模块：五通畅或单通畅空气赋予程序，选用食材货品多，可实行目标追踪定位形成沉积和空气手游辅助刻蚀；笛卡尔納米操作，都可以于机械性操作，电学电极或信息检测的；智能超高感应器器，可实行目标大总面积精准定位把控；特定束手机端岗位台FBMS和调变束手机端岗位台MBMS曝光度策略，无接拼误差值地💙除理长方向图文和周期怎么算性图型。