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ionLiNE原本的亚铁正铁离子束光刻机:高高精度和相对稳定的100mm激光机器干涉现象工作中台,非摧毁性的导行和大占地图型化;专属水平的NanoFIB-TWO亚铁正铁离子枪,辩认率高,束斑特别有优势(束拖尾比较小 ),正确的束偏转;🅘饱经验证的曝光过度把控软文,可正确把控亚铁正铁离子束。
Raith的ionLINE (TM)把控好程序的app化是将把握亚铁阴阴阳阳亚铁离子束和光刻把控好程序的app化美好搭配ꦦ的nm生产制作生产把控好程序的app化。它搭配了有差异 的把握亚铁阴阴阳阳亚铁离子束技艺,不稳定性性强,全半自动把控好,甄别率高,从复性强。ionLINE 有Raith研发培训的NanoFIB-TWOnm生产制作生产亚铁阴阴阳阳亚铁离子枪,还有从Raith光电束瀑光机把控好程序的app化里囊胚移植来参观经周期小测试的激光器干扰运转台和专门的瀑光app。亚铁阴阴阳阳亚铁离子束瀑光把控好程序的app化用大多数的办法技术工艺,以有差异 的新工艺设计步建全了nm生产制作生产新工艺设计:亚铁阴阴阳阳亚铁离子束瀑光把🃏控好程序的app化不要再仅仅限于基本概念光刻胶的瀑光,更好地操作单独的图型化技艺,如Milling、刻蚀或沉积状,还有单独掩模收录硬掩模,释放或基本功能化。
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FLEXposure图型化的模式:出示了尤其最合适的阴阳离子束技术水平和图型化方法;ꦕ正规的设定和用量管控搭载二维薄层图型化或3d奈米手工加工;无须光刻胶会直接图型化的作用可用以于3d/不整平样片或悬停样片上的不同APP标准。
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