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商品参数
    商品描述

    EVG 320有的是款自动式单晶体圆除垢机械,用于兆🍰声除垢在键合前对晶圆表面能做除垢,改善键合安全性能。

     



    好产品简单介绍:


    EVG 320就是款自己单晶体圆洗涤装备,使用兆声洗涤在键合前对晶圆表面上做洗涤,加强键合质理。

     

    重要性能及参数设置:


    ·较大可适于于12寸(300mm)晶圆


    ·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自主正常运行


    ·应用1MHz兆声拆洗头,效果洗去>1μm的颗粒肥料


    ·最小可配值4个除污腔室


    ·电脑人加工处理事关预指向精密度


    挑选

    应用价额存货
    EVG 320
    面议到货


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