离子束光刻系统 ionLiNE

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商品参数

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商品描述

ionLiNE原本的亚铁正铁离子束光刻机：高高精度和相对稳定的100mm激光机器干涉现象工作中台，非摧毁性的导行和大占地图型化；专属水平的NanoFIB-TWO亚铁正铁离子枪，辩认率高，束斑特别有优势（束拖尾比较小），正确的束偏转；🅘饱经验证的曝光过度把控软文，可正确把控亚铁正铁离子束。

类产品讲解
Raith的ionLINE (TM)把控好程序的app化是将把握亚铁阴阴阳阳亚铁离子束和光刻把控好程序的app化美好搭配ꦦ的nm生产制作生产把控好程序的app化。它搭配了有差异的把握亚铁阴阴阳阳亚铁离子束技艺，不稳定性性强，全半自动把控好，甄别率高，从复性强。ionLINE 有Raith研发培训的NanoFIB-TWOnm生产制作生产亚铁阴阴阳阳亚铁离子枪，还有从Raith光电束瀑光机把控好程序的app化里囊胚移植来参观经周期小测试的激光器干扰运转台和专门的瀑光app。亚铁阴阴阳阳亚铁离子束瀑光把控好程序的app化用大多数的办法技术工艺，以有差异的新工艺设计步建全了nm生产制作生产新工艺设计：亚铁阴阴阳阳亚铁离子束瀑光把🃏控好程序的app化不要再仅仅限于基本概念光刻胶的瀑光，更好地操作单独的图型化技艺，如Milling、刻蚀或沉积状，还有单独掩模收录硬掩模，释放或基本功能化。
ionLiNE切实的化合物束光刻机：高🐓精密加工和稳定可靠的100mm脉💎冲激光约束工作的台，非破碎性的导航系统和大体积图型化；专业系统的NanoFIB-TWO化合物枪，辩别率高，束斑极为有优势特点（束拖尾较小），透彻的束偏转；饱经考虑的曝出有效把握手机app，可透彻有效把握化合物束。
ionLiNE激发高效益的生产生产制作生产高技木定制：用单独精磨或试样技能化来缩短納米代生产制作生产生产制作生产高技木定制的环节；高速生产生产制作生产高技木定制激发，用实时更新生产生产制作生产高技木ꦺ定制监测器和3d载片台迅雷在线审核和提高生产生产制作生产高技木定制；可达到有成就性的素材和优秀的原形定制的生产生产制作生产高技木定制；高平衡性使实际集成电路芯片的全自己自定义代生产制作生产生产制作生产高技木定制成為很有可能；支持特殊高技木变成——灵活性的高技木手法。
FLEXposure图型化的模式：出示了尤其最合适的阴阳离子束技术水平和图型化方法；ꦕ正规的设定和用量管控搭载二维薄层图型化或3d奈米手工加工；无须光刻胶会直接图型化的作用可用以于3d/不整平样片或悬停样片上的不同APP标准。
ionLiNE代替可常备规范标准主件，如入料室、光学玻璃检测器、立即艺监测技术和3D载片台外，还可加大特别的职能：五入口渠道或单入口渠道混合气体流入把控系统，可以用村料类种多，可保证分析累积和混合气体帮助刻蚀；笛卡尔奈米支配，可以用于厂家支配，电学探头或警报测试；自主髙度调节器器，可保证大平数聚交把控；稳固束中国电信端上班台FBMS和幅度调制束中国电ﷺ信端上班台MBMS暴光策略，无融合误差值地进𝓀行处理长渠道设计和的规律性图型。